ºÎ»ê´ë »êÇÐÇù·Â´Ü-¾²¸®¿¡½º¿¥ÄÉÀÌ ±â¼úÀÌÀü Çù¾à½Ä. (»çÁø ¿ÞÂʺÎÅÍ ±è»óÅà ¾²¸®¿¡½º¿¥ÄÉÀÌ È¸Àå, À±¼®¿µ ºÎ»ê´ë »êÇÐÇù·Â´ÜÀå, °¨º´¼ ¾²¸®¿¡½º¿¥ÄÉÀÌ ´ëÇ¥ÀÌ»ç, È«¼®¿ø ºÎ»ê´ë ±³¼ö). <»çÁøÁ¦°ø=ºÎ»ê´ëÇб³> |
(ºÎ»ê=Æ÷Ä¿½ºµ¥Àϸ®) ±è¼º¿ø ±âÀÚ = ºÎ»ê´ëÇб³°¡ º¸À¯ÇÑ ‘3Â÷¿ø Ȧ·Î±×·¥ Çʸ§ Á¦Á¶’ ³ëÇÏ¿ì ±â¼úÀÌ ÀÔüº¸¾ÈÇʸ§À» »ý»ê·ÆǸÅÇÏ´Â Àü¹®±â¾÷ÀÎ ¾²¸®¿¡½º¿¥ÄÉÀÌ¿¡ ±â¼úÀÌÀüµÅ ¹Ì·¡ º¸¾ÈÇʸ§½ÃÀå °³Ã´¿¡ û½ÅÈ£·Î ÀÛ¿ëÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ºÎ»ê´ëÇб³ »êÇÐÇù·Â´ÜÀº Áö³´Þ 31ÀÏ ¿ÀÈÄ ±³³» »ï¼º»êÇÐÇùµ¿°ü 9Ãþ »êÇÐÇù·Â´ÜÀå½Ç¿¡¼ ³ª¹æ´«À» ¸ð»çÇÑ ¹Ý±¸Çü ·»Áî Çü»ó ³ª³ë ±¸Á¶Ã¼ ¹× 3Â÷¿ø Ȧ·Î±×·¥ Çʸ§ µîÀÇ ±¤ÇÐÀû ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ‘³ª³ëÆÐÅÏÀÌ Æ÷ÇÔµÈ À§»ó(êÈßÓ) ¸¶½ºÅ©¸¦ È°¿ëÇÑ 3Â÷¿ø Ȧ·Î±×·¥ Á¦Á¶ ±â¼ú’ÀÇ ¿øõ ³ëÇÏ¿ì¿¡ °üÇÑ ±â¼úÀÌÀü Çù¾àÀ» ¾²¸®¿¡½º¿¥ÄÉÀÌ¿Í Ã¼°áÇß´Ù°í 4ÀÏ ¹àÇû´Ù.
‘À§»óÀüÀÌ ¸¶½ºÅ©¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú(Photolithography)’Àº ºÎ»ê´ë È«¼®¿ø(±¤¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º°øÇаú) ±³¼ö°¡ °³¹ßÇÑ °ÍÀ¸·Î, ±âÁ¸ÀÇ UV ºûÀÇ °£¼·¹«´Ì¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ³ª³ëÆÐÅÏ Á¦Á¶ Ư¼ºÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö Àִ ȹ±âÀûÀÎ ±â¼úÀÌ´Ù.
‘Ãʹڸ· À§»óÀüÀÌ ¸¶½ºÅ© ±â¹ÝÀÇ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ’ ±â¼úÀº Ãʹڸ· À§»ó¸¶Å© Á¦Á¶ ¹× Àü»ç±â¼ú·Î ±¸¼ºµÇ¸ç, ±¤Åõ°ú ¿µ¿ª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ºÎºÐÀ» Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿¡ ´ÙÃþÀü»ç ¶Ç´Â ÄÜÆ÷¸» Àü»ç¸¦ ÀÀ¿ëÇÏ´Â ÇÙ½É ±â¼úÀÌ´Ù. ÁöÆó, ÀÇ·ù, ½Å¹ß, °¡¹æ, ¿©±Ç, ¹× À¯°¡Áõ±ÇÀ» ¾Æ¿ì¸£´Â º¹Á¦°¡ ºÒ°¡´ÉÇÑ È¦·Î±×·¥ º¸¾ÈÇʸ§»ç¾÷ ºÐ¾ß Àü¹Ý¿¡ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(Photoresist)´Â ºû¿¡ ÀÇÇؼ ¹°ÁúÀÇ ¼ºÁúÀÌ º¯ÈÇÏ´Â °íºÐÀÚ·Î, ºûÀ̳ª ¹æ»ç¼±¿¡ ³ëÃâÀÌ µÇ¸é ±× ºÎºÐ¸¸ ±¸Á¶º¯È¸¦ ÀÏÀ¸ÄÑ, ¿ë¸Å¿¡ ³ìÁö ¾Ê°Å³ª(³×°ÅƼºê ŸÀÔ), ±× ¹Ý´ë·Î ½±°Ô ³ì´Â´Ù(Æ÷ÁöƼºê ŸÀÔ).
ƯÈ÷, À§»óÂ÷(êÈßÓó¬) À¯µµ¸¦ ±Ø´ëȽÃŲ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀ» ³ª³ë½ºÄÉÀÏ ¸¶½ºÅ©·Î ±¸ÇöÇÒ °æ¿ì °ÝÀÚ Çü¼º °úÁ¤ÀÌ Áõ´ëµÅ ȸÀý ¹× °£¼·¹«´Ì °ñÀÇ ±âÇÏÇÐÀû Ư¼ºÀÌ ¸Å¿ì µ¶Æ¯ÇϹǷΠ±âÁ¸ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Î ±¤Çк¸¾È Çʸ§ÀÌ Á¦¾ÈÇÏ´Â ±â¼ú·Î´Â ½±°Ô º¹Á¦°¡ ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ ½ÃÀμº Çâ»ó»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó º¸¾ÈƯ¼ºÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¸ôµå ±â¼ú·Î Á¦¾ÈÀÌ °¡´ÉÇϹǷÎ, ÀÌ¿¡ °üÇÑ È¹±âÀûÀÎ ±â¼ú »ó¿ëÈ¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¡ ³ô´Ù.
¾ç ±â°üÀº ³ª³ëÁ¤¹ÐÆÐÅϱâ¼úÀ» È°¿ëÇÑ ÀÔüº¸¾ÈÇʸ§ »ó¿ëȸ¦ À§ÇØ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Çù·ÂÇϱâ·Î ÇßÀ¸¸ç, ¿¬±¸°³¹ß ºÐ¾ßÀÇ Àü¹®°¡ È°¿ë°ú ±³À°·ÈƷ÷ÀÚ¹®·Á¤º¸ÀÚ·á µî ÀÎÀû ¹× Á¤º¸ »óÈ£±³·ù µî¿¡ °øµ¿ÀÇ ³ë·ÂÀ» ±â¿ïÀÏ °èȹÀÌ´Ù.
À±¼®¿µ ºÎ»ê´ë »êÇÐÇù·Â´ÜÀåÀº À̳¯ Çù¾à½Ä¿¡¼ ”ºÎ»êÁö¿ªÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¿¬±¸±â°üÀÎ ºÎ»ê´ë¿Í ¼¼°èÀûÀÎ ¼öÁØÀÇ È¦·Î±×·¥À» ÀÌ¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë º¸¾È ÆÐÅÏ °³¹ßÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â ¾²¸®¿¡½º¿¥ÄÉÀÌ °£ÀÇ ±â¼úÀÌÀüÀ¸·Î ±ä¹ÐÇÑ »êÇÐÇù·Â ±â¹ÝÀ» ´ÙÁ® ÀÔüº¸¾ÈÇʸ§ ºÐ¾ß¿¡¼ ¹Ì·¡ ½Å½ÃÀåÀÌ Ã¢ÃâµÉ ¼ö Àֱ⸦ ¹Ù¶õ´Ù“°í ¹àÇû´Ù.
±è¼º¿ø ±âÀÚ ulruru5@ifocus.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © Æ÷Ä¿½ºµ¥Àϸ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>
#³ª¹æ´« ¸ð»ç#Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ